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左侧是电动五维调节机构,放置被观测耦合物件,实现三维电动平移和二维弧摆旋转调节。右侧是三维手动调节机构,实现精密直线运动。通过上方CCD监测的反馈,实现系统的电动耦合,大大提高耦合效率。
电动多维左右对称自动耦合系统是一对六维电动精密调节架,中间配备工装夹具,用于安装客户的耦合器件。上方是三维手动调节机构,可调整CCD的位置,通过CCD监测的反馈,实现系统的自动耦合,大大提高耦合效率。