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电动双镜片调整架可在真空中使用,安装300×300mm方镜片,通过电控调整镜片俯仰和偏摆,实现双镜片平行。底部的超重载弧摆台,调节整体模块的弧摆角度。
1列3排透镜阵列镜架,手动调节镜片的俯仰和偏摆角度,同时调节透镜组的高低,实现光路同步聚焦。每个透镜调节到位后,可以锁定位置,操作方便,分辨率高。