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XYM125H-75 小行程二维电动平移台
(快速索引号) |
572-2 |
|
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型号 (方向:XY) |
XYM125H-75 |
|
选配其他螺距 |
XYM125H-75-0.5或2 |
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台面尺寸(mm) |
125×100 |
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行程(mm) |
75 |
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丝杆螺距(mm) |
1(选配0.5或2) |
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整步分辨率(um) |
5(选配2.5或10) |
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50细分分辨率(um) |
0.1(选配0.05或0.2) |
|
重复定位精度(um) |
±1 |
|
单轴 |
运动直线度(um) (移动时左右摆动) |
±1.5 |
运动平行度(um) (移动时左右摆动) |
±5 |
|
台面平整度(um) |
±15 |
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两相步进电机规格 |
42 |
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最大速度(mm/s) |
5(选配2.5或10) |
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承载(kg) |
20 |
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滑动导轨 |
交叉滚柱导轨 |
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自重(kg) |
4.34 |
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选配超精密平移台 |
XYM125H-75-U |
XYM125H-75 小行程二维电动平移台