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SM22 双镜对称二维电动调整架
真空使用,安装镜片尺寸:300×300mm。
电动调整镜片俯仰和偏摆,实现双镜片平行。
底部的超重载弧摆台调节整体模块的弧摆角度。
整体结构稳定,调节精度高,使用方便。
SM22 双镜对称二维电动调整架
真空中使用的电动双镜片调整架,可以安装300×300mm方镜片,通过电控调整镜片俯仰和偏摆,实现双镜片平行。底部超重载弧摆台调节整体模块的弧摆角度。整体结构稳定,调节精度高,使用方便。