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SM22 双镜对称二维电动调整架 (索引号:748-2)

所属系列:个性化定制产品-SM 特制镜片调节机构

SM22 双镜对称二维电动调整架

 

真空使用,安装镜片尺寸:300×300mm。

电动调整镜片俯仰和偏摆,实现双镜片平行。

底部的超重载弧摆台调节整体模块的弧摆角度。

整体结构稳定,调节精度高,使用方便。

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主要参数:
 
移动方向:θX(俯仰)、θZ(偏摆), θY(弧摆)
调节范围:θXθZ:±1°、θY:±10°
最小分辨率:θXθZ:0.001°、θY:0.005°

SM22 双镜对称二维电动调整架

 

      真空中使用的电动双镜片调整架,可以安装300×300mm方镜片,通过电控调整镜片俯仰和偏摆,实现双镜片平行。底部超重载弧摆台调节整体模块的弧摆角度。整体结构稳定,调节精度高,使用方便。

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